1,制作底片:由于側(cè)腐蝕的存在,圖紙線條精度又必須等足,所以在光繪底片時(shí)必須作一定的工藝補(bǔ)償,工藝補(bǔ)償值必須依據(jù)測量不同厚度Cu的側(cè)腐蝕值來確定。底片為負(fù)片。
2,備料:盡量采購300×300mm固定尺寸以及Al面與Cu面均有保護(hù)膜的板材,尤以Rogers為佳。介電常數(shù)與圖紙相同。
3,制圖形:
a、此工序由于要進(jìn)行前處理,需對Al基進(jìn)行保護(hù),方法很多,建議用0.3mm厚度的環(huán)氧板,尺寸要與Al基板相同,四周用膠帶封閉,壓實(shí),以防溶液滲入。
b、對Cu面的處理建議用化學(xué)微蝕處理,效果較好。
c、Cu面處理好后,烘干后立即絲印濕膜,以防氧化。
d、顯影后,用刻度放大鏡測量線寬及間隙是否達(dá)到圖紙要求,保證線條光滑無鋸齒。若Al基板厚度大于4mm,建議將顯影機(jī)上傳動輥取下,以防卡板導(dǎo)致返工。
4,蝕刻:采用酸性CuCl-HCl系溶液腐蝕。用實(shí)驗(yàn)板調(diào)整溶液,在蝕刻效果較佳時(shí)腐蝕Al基板,將圖形面朝下以減少側(cè)蝕量。
5,表面處理(浸Sn):蝕刻工序完成后,不要急于退膜,立即準(zhǔn)備好浸Sn溶液,即退膜,即浸Sn,效果較好。
6,機(jī)加:外形加工時(shí),應(yīng)采用數(shù)控銑床,將聚四氟乙烯和Al基部分分開加工,這樣可避免因兩者導(dǎo)熱性和變形的不同而引起的分層現(xiàn)象,還應(yīng)將圖形面朝上,以減少分層和毛刺的產(chǎn)生。